2011年开始维修。技术来源自原先台湾日扬。从2012年至2014年年维修量逐步递增。至2014年，年维修量已突破80EA/年。主要维修型号：ADS 602;1202 ADP122;ACP 15;28等，现主要客户：台积电（TSMC-10);上海先进（ASMC）；晶科能源；天津中环等