2011年开始维修，技术来源自原先台湾日扬。从2012年至2014年年维修量逐步递增，至2014年，年维修量已突破80EA/年。主要维修型号：ADS 602、1202 ADP122;ACP 15、28等，现主要客户：台积电（TSMC-10)、上海先进（ASMC）、晶科能源、天津中环等。