EBARA维修为上凯仪主要维修品牌，具有强大的维修能力。并具有全系列维修能力，从最早80*25系列至A系列至AA系列到最新的EVS系列。从2003年开始就致力于配合各客户维修EBARA系列PUMP。主要客户为国内各半导体，光电等主要客户：台积电（TSMC-10);华虹宏力（HHNEC);华润上华（CSMC);杭州士兰（SL);业成光电等…从2007年开始每年维修量呈递增趋势。从年维修量80台至2014年年维修量突破400台