JGM、JGH系列多级干式真空泵，结合罗茨与爪型转子吸气原理，通过多级转子的优化组合，最大限度利用了多级罗茨干泵与爪型干式真空泵的优势，从而在较宽的压力范围内获得较大的实际抽速，高效地实现了洁净真空环境的获得。
罗茨干式真空泵机组(JGM系列)
产品说明JGM、JGH系列多级干式真空泵，结合罗茨与爪型转子吸气原理，通过多级转子的优化组合，最大限度利用了多级罗茨干泵与爪型干式真空泵的优势，从而在较宽的压力范围内获得较大的实际抽速，高效地实现了洁净真空环境的获得。
重点应用：
集成电路、太阳能电池、LED领域，可用于装载腔、传输腔等清洁工艺过程，也可用于PVD、刻蚀、多种CVD等一般制程工艺或苛刻制程工艺过程。
其他应用：
真空冶金（回火和退火、钢脱气，表面处理熔化，精炼，铸造和焊接等）；
真空镀膜系统（玻璃镀膜、精密光学等）；
真空包装、食品、化工、医药、电机制造等工业蒸馏、蒸发、干燥等。
