罗茨干式真空泵机组 (JGH系列) 产品特点是无油，可获得清洁的真空环境，可在多粉尘、强腐蚀工艺环境下使用，自动控制系统模块化，具备远程控制接口，零维护、可靠性高、能耗低。
罗茨干式真空泵机组（JGH系列）
产品说明罗茨干式真空泵机组 (JGH系列) 产品特点是无油，可获得清洁的真空环境，可在多粉尘、强腐蚀工艺环境下使用，自动控制系统模块化，具备远程控制接口，零维护、可靠性高、能耗低。
重点应用：集成电路、太阳能电池、LED领域，可用于装载腔、传输腔等清洁工艺过程，也可用于PVD、刻蚀、多种CVD等一般制程工艺或苛刻制程工艺过程。
其他应用：
真空冶金（回火和退火、钢脱气，表面处理熔化，精炼，铸造和焊接等）；
真空镀膜系统（玻璃镀膜、精密光学等）；
真空包装、食品、化工、医药、电机制造等工业蒸馏、蒸发、干燥等。
