系列涡旋干式真空泵
泵内无油，可获得清洁的真空环境；低噪音；无需水冷，耐腐蚀；操作简便，维护费用低廉。
薄膜制备设备、大科学工程与化学分析；
半导体封装设备等无油抽气系统的配泵；
分子泵的前级泵；
医疗仪器、生物制品与药品制备；
食品、药品等包装设备；
特气回收、液晶注入。
