ロチドライ式真空ポンプユニット（JGMシリーズ）製品の特徴はオイルがなく、清潔な真空環境が獲得でき、凝固性ガスを引き出すことができ、直接に起動し、起動が早く、引出スピードが大きく、真空度が高いことで、連続運転、ゼロメンテナンス、低エネルギー消耗、小型、低騒音を実現しました。
ロチドライ式真空ポンプユニット
製品説明ロチドライ式真空ポンプユニット（JGMシリーズ）製品の特徴はオイルがなく、清潔な真空環境が獲得でき、凝固性ガスを引き出すことができ、直接に起動し、起動が早く、引出スピードが大きく、真空度が高いことで、連続運転、ゼロメンテナンス、低エネルギー消耗、小型、低騒音を実現しました。
応用分野：主に集積回路、太陽電池などの設備中のオイル無し吸気システムに応用され、中程度腐食工程及び清潔工程環境に適用し、例えばサンプリング室、伝送チャンバ、PVD、シリコンエッチング、金属エッチング、計量、リソグラフィなどに適用されます。
その他の応用分野には真空冶金工業の真空脱気、真空熔煉、溶鋼真空処理、空間シミュレータ、低密度風洞などの装置中の非腐食性ガスの引出、化学、食品、医薬品、電機製造などの工業蒸留、蒸発、乾燥などを含みます。