ロチドライ式真空ポンプユニット（JGHシリーズ）製品の特徴は清潔な真空環境が獲得でき、多量の粉塵、強腐食工程環境に使用することができ、自動制御システムがモジュール化され、リモートコントロールインタフェースを有すること、メンテナンス不要、高信頼性、低エネルギー消耗であります。
ロチドライ式真空ポンプユニット
製品説明ロチドライ式真空ポンプユニット（JGHシリーズ）製品の特徴は清潔な真空環境が獲得でき、多量の粉塵、強腐食工程環境に使用することができ、自動制御システムがモジュール化され、リモートコントロールインタフェースを有すること、メンテナンス不要、高信頼性、低エネルギー消耗であります。
応用分野：主に集積回路、太陽電池などの設備のオイル無し換気システムに応用され、苛酷工程、例えばPECVD、LPCVD、MCVDなどに適用され、中程度の腐食工程及びクリーンの工程環境にも適用されます。
その他の応用分野には真空冶金工業の真空脱気、真空熔煉、溶鋼真空処理、化学、食品、医薬品、電機製造などの工業蒸留、蒸発、乾燥などを含みます。